高科技生產中的靜電控制
專題一：靜電基本常識
阿諾爾特．斯坦默
Arnold Steinman M.S.E.E
什麼是靜電？
失效模式和機理
靜電產生及控制
電荷
電荷測量單位
靜電和移動著的電荷
測量單位
靜電場測量器
工作區域中之典型靜電
什麼是靜電放電？
失效的模式
靜電怎樣影響產品 ？
粒子在帶靜電表面上的動力
污染研究
靜電放電在半導體生產中的影響
在光刻板上的靜電放電損壞
磁頭上的靜電放電損壞
人體模型 – 靜電放電情況
機械模型 – 靜電放電情況
帶電包裝 – 靜電放電情況
靜電放電產生電磁干擾
生產區域中測量電磁干擾信號
怎樣引起表面靜電？
摩擦生電
感應帶電
低能量靜電放電導致光罩的破壞
控制靜電之方法
使用接地方法消除電荷
傳統的接地方法
靜電放電接地系統
人員之接地方法：重要因素
型的手腕帶組合
消電材料
電阻性範圍
電阻計
核試工作鞋
測量工作表面及地面
核試工作表面
系統測試
地面電阻性測試
同心環型電極
關於絕緣體及孤立導體
使用接地消除靜電
絕緣體對導電體
為什麼選用電離為控制靜電之方案？
雙極性空氣電離和絕緣體帶電
帶電平面監視儀
有效的防靜電放電方案
沒有靜電之工作站
ESD認證快速檢測箱
接地交流阻抗測試儀
帶電平板監測儀(CPM)
靜電電壓測量類
EST101 防爆靜電電壓表
EST102 振動電容靜電計
EST102A駐極體靜電測試儀
EST103 靜電計
EST113超高阻高壓表(靜電計)
EST105高阻高壓表
EST201非接觸真空靜電電位測量
EST401靜電監測報警門
EST403 靜電監測報警器
EST405靜電動態電腦監測報警
EST406電腦資料獲取軟體系統
EST202 油面電位測量系統
靜電電荷量測量類
EST111 數字電荷量儀
EST111A型數字電荷皮庫表
EST112 數字電量表
EST112A數字電量表
《防靜電工作服》檢測裝置
高電阻或超高阻測量類
EST120 數字高阻計
EST121 超高阻、微電流測量儀
EST301 人體綜合電阻測試儀
EST301A綜合電阻測試儀NEW
EST601 防靜電鞋導電鞋電阻值測量儀
EST991導電和防靜電材料電阻率測量
微電流或超微弱電流測量
EST122 皮安電流錶
EST121 型數位超高阻、微電流測量儀
EST601 防靜電鞋導電鞋電阻值測量儀
靜電發生器
EST801靜電發生器 (8kV)
EST801A靜電發生器
EST703靜電發生器(80kV)
EST704靜電發生器(50∼150kV)
EST705高精度靜電發生器
EST802A靜電發生器(±20kV)
範得格拉夫靜電起電機、感應起電機
ESD抗擾度、敏感度試驗設備
EST802靜電放電發生器0~±20kV
EST803靜電放電發生器 0~±30kV
EST883 HBM靜電放電模擬器
EST883A HBM/MM靜電放電模擬器
EST883B HBM/MM/CDM靜電放電模擬器
EST883C CDM靜電放電模擬器
靜電放電試驗台：靜電放電臺式配置
EST805靜電放電發生器
武器系統試驗
EST806 靜電放電發生器航空飛機系統
EST806A電火工品靜電感度試驗儀
EST806B工業電雷管靜電感度試驗儀
EST901皮秒矩形脈衝發生器
EST902靜電放電擾度調式與診斷系統
其他靜電相關儀器與設備
EST602/606人體靜電表演裝置
EST702靜電覆紙設備
EST706節能環保型靜電分選機
靜電放電棒
摩擦板
範得格拉夫靜電起電機
靜電感應起電機
維姆胡斯靜電感應起電機
靜電放電發生器校準裝置
EST108系列靜電電壓表校準裝置
多通道大氣靜電場強測試儀
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