高科技生產中的靜電控制
阿諾爾特．斯坦默, 管偉 博士
北京靜電培訓
專題二：用於半導體及平面顯示器生產之離子化和標準
概論
靜電問題－污染及靜電放電
為什麼選用電離為控制靜電之方案？
生產環境和機台內部電離化
空氣離子
核元素及X光電離
尖端電離
雙極性空氣電離和絕緣體帶電
商用電離器
交流型框架及棒子
穩定直流型
脈衝直流型
放電時間的比較
電離產品可用性
選擇電離器的標準
電離器的性能測試
電離標準
帶電平面監視儀
電離器效能測試
生產環境機台內部之電離化
離子發射器
300毫米晶片廠內天花板式電離器
無塵室電離化
微型環境
在上載及下卸站之電離棒
濕法制程機台中的電離棒
機臺上壓縮氣體性電離
高速甩幹機中控制電荷
四點式電離棒
光罩存放器之出入口
在上載站的電離
扇型電離器在取放處理機
圓片廠電離器的安裝
在平面顯示器中的靜電控制問題
靜電來源：摩擦玻離片
靜電來源：滾動壓輾著的膠片
靜電來源：架臺上的產品
在微型環境和機台中的電離化
玻璃板轉送器內的電離棒
典型的平面顯示器生產設備中電離器之設定
採用四點式電離棒中和玻離板
無塵室電離化
硬碟驅動器組裝線的電離化工作臺
硬碟驅動器組裝線的電離化工作站
靜電控制-振動漏斗中的材料
靜電控制-塑封之電離化
靜電控制-藥品的傳送
靜電吸引-導致稱重誤差
標準及技術指標
美國國家標準局靜電放電標準 ANSI ESD S20.20
S20.20 絕緣體及電離器
S20.20 方案之要求
2003年半導體國際科技指標
2003 國際技術指標∼半導體生產
技術上要求-靜電
結論
如果要想在短時間內系統全面熟悉和掌握靜電知識，請參加我們組織的靜電培訓與諮詢，您將與國際國內著名的靜電專家面對面交流機會，從而解決您的實際問題。
ESD認證快速檢測箱
接地交流阻抗測試儀
帶電平板監測儀(CPM)
靜電電壓測量類
EST101 防爆靜電電壓表
EST102 振動電容靜電計
EST102A駐極體靜電測試儀
EST103 靜電計
EST113超高阻高壓表(靜電計)
EST105高阻高壓表
EST201非接觸真空靜電電位測量
EST401靜電監測報警門
EST403 靜電監測報警器
EST405靜電動態電腦監測報警
EST406電腦資料獲取軟體系統
EST202 油面電位測量系統
靜電電荷量測量類
EST111 數字電荷量儀
EST111A型數字電荷皮庫表
EST112 數字電量表
EST112A數字電量表
《防靜電工作服》檢測裝置
高電阻或超高阻測量類
EST120 數字高阻計
EST121 超高阻、微電流測量儀
EST301 人體綜合電阻測試儀
EST301A綜合電阻測試儀NEW
EST601 防靜電鞋導電鞋電阻值測量儀
EST991導電和防靜電材料電阻率測量
微電流或超微弱電流測量
EST122 皮安電流錶
EST121 型數位超高阻、微電流測量儀
EST601 防靜電鞋導電鞋電阻值測量儀
靜電發生器
EST801靜電發生器 (8kV)
EST801A靜電發生器
EST703靜電發生器(80kV)
EST704靜電發生器(50∼150kV)
EST705高精度靜電發生器
EST802A靜電發生器(±20kV)
範得格拉夫靜電起電機、感應起電機
ESD抗擾度、敏感度試驗設備
EST802靜電放電發生器0~±20kV
EST803靜電放電發生器 0~±30kV
EST883 HBM靜電放電模擬器
EST883A HBM/MM靜電放電模擬器
EST883B HBM/MM/CDM靜電放電模擬器
EST883C CDM靜電放電模擬器
靜電放電試驗台：靜電放電臺式配置
EST805靜電放電發生器
武器系統試驗
EST806 靜電放電發生器航空飛機系統
EST806A電火工品靜電感度試驗儀
EST806B工業電雷管靜電感度試驗儀
EST901皮秒矩形脈衝發生器
EST902靜電放電擾度調式與診斷系統
其他靜電相關儀器與設備
EST602/606人體靜電表演裝置
EST702靜電覆紙設備
EST706節能環保型靜電分選機
靜電放電棒
摩擦板
範得格拉夫靜電起電機
靜電感應起電機
維姆胡斯靜電感應起電機
靜電放電發生器校準裝置
EST108系列靜電電壓表校準裝置
多通道大氣靜電場強測試儀
| 查找 |
ESD-china |
